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管式二合一PECVD設(shè)備

AlO+SiN薄膜沉積。
管式PE-Poly設(shè)備

TOPCon電池隧穿氧化層、i-Poly、D-poly沉積。
管式LPCVD設(shè)備

TOPCon電池隧穿氧化層、i-poly、D-poly低壓化學(xué)氣相沉積。
全自動石英舟裝卸片機

集裝片和卸片一體，可從石英舟中把擴散后的硅片卸到片籃中，也可從片籃中將制絨后的硅片裝入石英舟中?？稍?個石英舟插槽中插?兩片，實現(xiàn)單面擴散片工藝，也可在?個石英舟插槽中插入一片，實現(xiàn)雙面擴散片工藝。采用裝片與卸片可連續(xù)銜接?式，實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)；也可單獨裝片或單獨卸片。
全自動石墨舟裝卸片機

本設(shè)備為在線式，可與一臺或兩臺側(cè)出舟設(shè)備對接，實現(xiàn)石墨舟的自動傳輸和硅片自動裝卸，滿足在太陽能電池片生產(chǎn)過程中的PECVD工藝前后，將片籃中的硅片自動裝載到石墨舟，并將石墨舟輸送到PECVD設(shè)備中，或?qū)ECVD設(shè)備中的石墨舟輸送到本設(shè)備，并將石墨舟中的硅片自動裝載到片籃中。
HJT清洗制絨設(shè)備

對高效太陽能電池異質(zhì)結(jié)電池片進行制絨、清洗。
HJT板式等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備

制備本征及摻雜非晶硅薄膜。
板式透明導(dǎo)電薄膜沉積設(shè)備(RPD/PAR/PVD)

板式物理鍍膜設(shè)備用于鍍著透明導(dǎo)電薄膜于襯底(硅片、玻璃片、柔性基板)。
全自動卷紙印刷機

把鋁漿、銀漿通過壓力印刷至電池片表面，經(jīng)過烘干燒結(jié)后成為太陽能電池正負極。
HJT全自動半片卷紙印刷機

把銀漿通過壓力印刷至電池片表面，經(jīng)過烘干固化后成為太陽能電池正負極。
光注入退火爐

調(diào)節(jié)電池片費米能級變化，控制H總量及價態(tài)，提高H鈍化與缺陷修復(fù)效率，達到降低P型電池衰減效應(yīng)，提高N型電池轉(zhuǎn)換效率的效果。
網(wǎng)鏈式烘干燒結(jié)爐

把印刷好的前后電極燒融到PN結(jié)層，形成歐姆接觸，讓電池片細柵線收集到的電能通過主柵線匯流出來。

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